微纳米几何量计量器具是指能直接或间接测出微米、纳米尺度几何量的装置、仪器仪表、量具，包括计量基准，计量标准和工作计量器具。本溯源系统表规定了微纳米几何量计量基准器具、计量标准器具和工作计量器具的用途、组成和技术指标。同时规定了从计量基准器具到计量标准器具再向工作计量器具进行量值传递的程序。为本溯源系统适用于微纳米几何量计量器具的溯源, 在开展校准时也可作为量值溯源的依据。
　　微纳米几何量计量基准器具用以复现和保存微纳米几何量量值，具有最高准确度，作为统一全国为纳米几何量量值最高依据的计量器具。全国的各级微纳米几何量计量标准和工作计量器具，都必须能直接或间接的溯源到微纳米几何量计量基准。微纳米几何量国家基准要定期参加国际比对以保证量值准确可靠，实现国际互认。
　　本溯源体系的计量基准将主要包括以下五个标准装置：
　　1、纳米几何结构标准装置;2、毫米级纳米几何结构样板校准装置;3、微纳米样板校准装置;4、紫外光学二维微纳几何结构标准装置;5、双探针微纳线宽校准装置;由上述装置形成的计量基准，将覆盖纳米至微米尺度的三维几何量计量溯源能力，充分互补，缺一不可，从而确保量值溯源的准确性和全面性。
　　工作计量器具
　　微纳米几何量工作计量器具用于工业生产、加工制造等领域的微纳米几何量测量和表面形貌质量评价，其量值通过微纳米几何量计量标准器具溯源到微纳米几何量国家基准。
　　工作计量器具组成
　　根据测量原理，实现微纳几何量测量的工作计量器具主要包括扫描探针显微镜、电子显微镜、光学显微镜、粒径粒形测量仪与膜厚测量仪等。
　　工作计量器具技术指标
　　各类微纳米几何量测量仪器的技术指标主要由测量范围及最大允许误差组成。根据测量原理、量值传递体系与产业需求，常见的技术指标如下：
　　1)扫描探针显微镜：水平测量范围：(0~100)μm, mpe=5% 垂直测量范围：(0~2)μm mpe=5%;2)电子显微镜：测量范围(x，y)= (70~10000)nm mpe=5%;3)光学显微镜：测量范围(1~200)μm mpe=5%;4)粒径粒形测量仪：测量范围(0~10000)nm mpe =5%;5)膜厚测量仪：测量范围(70~10000)nm mpe=5%;微纳米几何量计量器具溯源系统框图

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